作者：陈晓明,金仲和,邹英寅 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1994年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG402.0070 DOC编号：DOCYDSG402.0079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用压电薄膜和表面微机械技术可实现新型的氧化锌簿膜器件。本文分析了氧化锌薄膜表面微机械器件中氧化锌的压电效应，微机械结构的应力分布，以及压电感应电荷与器件尺寸的关系。这些结果可为器件的设计提供理论依据。

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