作者：刘忠玉,蔡丽梅 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1995年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1995010140 DOC编号：DOCCGJS1995010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机械加工技术是现代新型传感器技术的基础，目前它已渗透到传统的传感器领域，高性能的微机械结构传感器已出现.不仅可以制成简单的准三维结构，而且可以做成三维

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