《用声表面波延迟线实现化学气体浓度的检测》PDF+DOC
作者:刘国锋,陈明
单位:北京长城航空测控技术研究所
出版:《测控技术》1994年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFIKJS1994060050
DOC编号:DOCIKJS1994060059
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介绍了采用双通道声表面波(SAW)延迟线结构实现化学气体浓度检测的原理与方法,对SAW气体传感器的气作敏感理论模型和器件制作进行了较深入的讨论。着重研究了气敏薄膜与SAW气体传感器特性之间的紧密关系。与一般的气体传感器相比,SAW气体传感器具有很大的性能优势。
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