《一种新型的电容传感器──基于边缘效应原理的传感器》PDF+DOC
作者:李欣欣,李均
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》1994年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM401.0090
DOC编号:DOCGXJM401.0099
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本文介绍了一种新型的电容传感器。它不同于以往的平行板式电容传感器,而是利用边缘场效应的原理,设计出的具有宽的静动态测量范围(mm级)和高精度的测量仪器。它适用于自动化加工过程中的实时测量,具有快速、稳定和小尺寸的特点。文中对这种测量方法的原理,数学推导及实验进行了详细地描述。实验结果表明:这种边缘场电容传感器具有广泛的应用范围。
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