作者：吴坚民,唐祯安,牛德芳 单位：大连理工大学 出版：《大连理工大学学报》1995年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDLLG504.0210 DOC编号：DOCDLLG504.0219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为提高Ｃ型压力传感器性能，利用有限元方法，对Ｃ型结构传感器加工过程中出现的边缘Ｒ角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析．其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础．

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