作者： 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《中国光学》1995年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGA1995020640 DOC编号：DOCZGGA1995020649 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • TN366 95021147投影光刻机调焦传感器研究[学，中]/李东；中科院光电技术研究所.—112页.—1994.6研究了投影光刻机的调焦传感器.重点讨论了调焦传感器的工艺适应性及调焦传感器信号的高精度处理.提出了一种新颖的调焦传感器方案.并对该方案做了理论分析、设计和实验.原理实验中获得了

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