作者：王凌云,杜晓辉,张方方,李岸林,孙道恒 单位：中国航空制造技术研究院 出版：《航空制造技术》2016年第17期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKGJ2016170030 DOC编号：DOCHKGJ2016170039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高温半导体材料碳化硅及其在微机电中的应用》PDF+DOC1999年第11期 徐毓龙,徐玉成 《MEMS的未来十年属于执行器》PDF+DOC2015年第10期 薛士然 《用于制造传感器、执行器和微结构的硅直接键合(SDB)工艺》PDF+DOC1990年第02期 黄庆安 《基于MEMS的流动主动控制技术及其研究进展》PDF+DOC2005年第04期 程忠宇,吴学忠,李圣怡 《MEMS在控制系统中的应用》PDF+DOC2004年第01期 杨涛,李磊民,何叶,韩宾 《用于油井井下环境的MEMS应变传感器》PDF+DOC2012年第04期 杨汇鑫,宋业生,胡龙京,杨伟兵 《聚合物先驱体转化法制备陶瓷MEMS器件》PDF+DOC2008年第11期 吕红映,陈立新,王亚洲,张教强 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC2007年第03期 侯亚丽,李长河,蔡光起 《国产MEMS器件性能突破》PDF+DOC2014年第06期 赵娟 《AlN微热板气体传感器阵列热失稳特性研究》PDF+DOC2013年第12期 周真,赵文杰,施云波,王婷,于洋

    • 随着对航空飞行器智能控制的迫切需求，硅基微机电系统MEMS(Micro-electromechanical Systems)传感器和执行器难以满足飞行器恶劣的运行环境，因而以碳化硅、氮化铝等为代表的多种MEMS特种材料被不断研究和使用。概述这些特种材料的机电特性有利于缩小特种传感器研发的材料选择范围；而针对兼具机械和电学两方面应用的碳化硅、氮化铝和聚合物前驱体陶瓷开展微纳加工技术的综述，有利于全面了解这3种材料的成型成性关键工艺，进而揭示从航空特种材料到MEMS器件的加工技术发展规律，为普遍使用电信号的航空特种传感器的研发提供加工手段借鉴。

    📙 相关资料

    1. 《高温半导体材料碳化硅及其在微机电中的应用》PDF+DOC 简要介绍碳化硅的性质、制备、加工技术和它在恶劣环境下的微机电系统中的应用。...
    2. 《MEMS的未来十年属于执行器》PDF+DOC 过去几年，微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)备受关注，但是大多数集中于MEMS传感器应用，在可以预见的未来十年内，MEMS执行器即将大放异彩。其实，MEMS包含传感器和执行器MEMS里面包含了传感器(sensor)和执行器(actuator)，二者......
    3. 《用于制造传感器、执行器和微结构的硅直接键合(SDB)工艺》PDF+DOC 硅片直接键合(SDB)，即硅—硅键合，是一种把两个硅片直接键合在一起的一种工艺，它不需使用如聚合物或熔融玻璃的中间粘结剂，也不需用如在玻璃一硅阳极键合中的外加电场.这种工艺已经在微电路研制中用来制造SOI衬底同样在制造硅传感器、执行器和微结构方面得到广泛应用。...
    4. 《基于MEMS的流动主动控制技术及其研究进展》PDF+DOC MEMS技术与流动控制技术的结合，使得流动主动控制技术的实际应用逐步成为现实，极大地推动了流动主动控制技术的发展。简述了流动主动控制技术的基本原理、关键技术，以及应用MEMS技术实现流动主动控制的机理和途径。介绍了几家国外研究机构近年来在流动主动控制技术领域基于MEMS技术的微传感、微控制和微执行技......
    5. 《MEMS在控制系统中的应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域，借助于MEMS可以实现微观对象的检测与控制以及宏观对象的分布式检测与控制。综述了基于 MDMS 的主动控制和传感器网络在控制系统中的应用。...
    6. 《用于油井井下环境的MEMS应变传感器》PDF+DOC 本文给出来一种应用于油井井下恶劣环境下的SiC MEMS谐振应变传感器。该传感器是一个质量平衡双端音叉(BDETF)，由沉积在硅基板的3C-SiC薄膜制备而得。该器件在大气环境下，从室温到300℃以上均可振荡。对该器件施加10000g的冲击(垂直于器件表面)而无损失和谐振频率漂移。该传感器具有66H......
    7. 《聚合物先驱体转化法制备陶瓷MEMS器件》PDF+DOC 简述了聚合物先驱体转化陶瓷(PDC)法在制备陶瓷纤维、陶瓷涂层和陶瓷粘接等方面的应用，重点介绍了PDC法在微机电系统(MEMS)器件制造中的发展概况。耐高温MEMS的发展面临两大挑战：高温材料的选择和发展合适的微加工技术。指出了传统加工技术制备陶瓷MEMS的不足，着重介绍了PDC法制备陶瓷MEMS的......
    8. 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micr......
    9. 《国产MEMS器件性能突破》PDF+DOC 微机电系统MEMS是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。2014松山湖中国IC创新高峰论坛推广了多款新型MEMS产品，从各角度展示了中国创造在应用和性能等方面的突破。...
    10. 《AlN微热板气体传感器阵列热失稳特性研究》PDF+DOC 采用微机电系统(MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(AlN)基陶瓷微热板2单元气体传感器阵列。传感器单元由加热器电极和信号电极组成，中间加热区周围通过激光微加工刻蚀有4个热隔离通孔以减少热传导损失，并通过4个梁与边缘相连接。利用ANSYS软件对传感器阵列热结构进行了热场耦合有限元仿真分析，验证......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。