作者：高晓萍 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1995年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1995110040 DOC编号：DOCGJDX1995110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 作为微机械的制作方法被视为最有希望的是半导体微型机械加工法，该方法擅长将传感器和电子线路组合在一起，大批量生产具有自律功能的微型机械，微机械与自律分散系统有不可分割的联系.本文首先简单介绍自律分散系统，然后介绍自律分散微系统的研究例子。

    📙 相关资料

    1. 《微机械元件和仪器的新进展》PDF+DOC 微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来，在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。...
    2. 《行业信息》PDF+DOC 传感器市场分析(二)——MEMS传感器 微机械电子系统(MEMS)从最早出现至今已有十多年的时间，并已成为一个充满了巨大发展潜力的领域。有关分析人员指出，整个市场价值估计在30～150亿美元之间，而且随着产品在更多的领域加以应用，这个市场会越来越大。 MEMS制造技术的发展，伴随着是处理能力和批量生......
    3. 《微型机械加工技术、应用途径和发展方向的研究》PDF+DOC 介绍了微型机械的基本概念和特点，综述了微型机械的加工技术和应用途径，讨论了微型机械的发展方向和趋势。...
    4. 《微光机电系统国内外研究进展》PDF+DOC 本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系林及微光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状.我国微光机电系统的研究起步并不算晚，近年来成果十分显著，但要缩小与世界先进水平的差距，还需多方面的努力。...
    5. 《微机械元件和仪器新进展》PDF+DOC 微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。...
    6. 《传感技术的研究现状》PDF+DOC 本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状。传感器在集成化、系统化方面的研究取得了明显成果，基础研究得到了加强。微机械电子系统正日益受到重视。...
    7. 《微米／纳米技术及其应用》PDF+DOC 介绍了当前国际上（尤其是几个发达国家）关于微米、纳米技术及其在微型机械、微型机械电子系统以及在专用集成微型仪器等方面的应用...
    8. 《微型机械加工技术发展现状和趋势及其关键技术》PDF+DOC 微型机械加工技术备受国内外关注和重视 ，本文扼要介绍国内外微型机械加工技术的发展现状、发展趋势及其关键技术...
    9. 《我国混凝土机械现状与发展趋势》PDF+DOC 微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。...
    10. 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micr......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。