《高精度调相式容栅位移传感器》PDF+DOC
作者:申义俭,于晓洋,关为民
单位:哈尔滨理工大学
出版:《哈尔滨理工大学学报》1994年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHLGX1994030070
DOC编号:DOCHLGX1994030079
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分析了调相式容栅位移传感器的工作原理,针对其原理非线性误差.提出了一种高精度的调相式容栅位移传感器,并对其进行了理论分析.
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