作者：鲍敏杭,沈绍群,普琦 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1994年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1994020020 DOC编号：DOCYBJS1994020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微压压力传感器的结构改进》PDF+DOC1995年第05期 鲍敏杭,沈绍群,陈宏,马青华 《硅压力传感器的灵敏度和非线性分析》PDF+DOC1994年第04期 周南生,居水荣,宫俊,张文敏 《氧化锌压电薄膜传感器设计理论研究》PDF+DOC1994年第02期 陈晓明,金仲和,邹英寅 《对称岛膜结构线性硅电容压力传感器设计》PDF+DOC1993年第04期 李昕欣,陈宏,鲍敏杭 《微机械梁-膜结构的压力传感器》PDF+DOC1990年第02期 鲍敏杭,王言,于连忠 《耐高温微型压力传感器设计》PDF+DOC2004年第03期 范元斌,赵玉龙,赵立波 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC2002年第04期 童志义,赵晓东 《纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究》PDF+DOC2010年第10期 沈思国,丁建宁,潘海彬,凌智勇,程广贵,范真 《横向加速度传感器设计及特性研究》PDF+DOC1997年第07期 朱海军,陈宏,鲍敏杭 《一种使用改进力敏差放的压力传感器设计》PDF+DOC2002年第S2期 李晶晶,岳瑞峰,刘理天

    • 采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5～10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24)，结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。

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