作者：董波 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1995年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL502.0140 DOC编号：DOCXDJL502.0149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 低成本高灵敏度集成化压力与温度传感器Ｐ．Ｐｏｎｓ等一、简介金属电阻为进行简便、精确及低成本的用度测量创造了条件。此外，电容压力传感器据供了一个高灵敏度、低温漂的压力测量方法。将这两种类型的传感器集成干同一芯片上看来是可行的，而且符合经济上的要求，因为..。

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