作者：陆宏 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1994年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1994020100 DOC编号：DOCYBJS1994020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文针对扩散 硅压力传感器在生产中， 大片静电封接对大片玻璃 钻孔的要求，提出了高效 玻璃钻孔的新方法——超 声波多工具钻孔；并通过 实验，对该方法在加工过程中所具有的特性进行了重点研究；同时，阐述了该方法对传感器生产的适用性；指出了该方法在实际生产中应用所需解决的技术关键。

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