作者：刘沁,吕忠刚 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1994年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1994030070 DOC编号：DOCYBJS1994030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在高精度扩散硅传感器的生产中，急需采用一种净化好、充灌效率高的硅油充灌装置来满足生产需要。该装置解决了扩散硅传感器的硅油净化和充灌问题，满足了传感器隔离膜片对感受到的介质压力进行无损传递的要求，提高了扩散硅传感器的精度，特别是扩散硅传感器的温度特性和长期稳定性。本文介绍了该装置的工作原理、结构和几个技术问题。

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