作者：白韶红 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》1994年第10期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB1994100000 DOC编号：DOCZDYB1994100009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了全SOI工艺和局部SOI工艺的原理、制作过程、特点和应用范围，叙述了SOI压力传感器的发展趋势，重点对SDB、SFB、SOS、SOZ、SIMOX、ZMR等压力传感器的工艺结构、主要技术性能、应用特点等作了较全面的分析，从而得出具有较广阔应用前景的结论。

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