《三轴压电电阻型加速度传感器》PDF+DOC
作者:吴枫
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1995年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL503.0110
DOC编号:DOCXDJL503.0119
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三轴压电电阻型加速度传感器冈田和广最近开发出一种能检测加速度在X、Y、Z方向3个分量(AX,AY,AZ)的三轴压电电阻型加速度传感器。这种传感器是应用了半导体技术和微切削加工技术制作的,在硅片表面上形成用来检测3个轴向加速度分量的检测电阻。在硅片背面..。
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