作者：李金华,孙慷,蒋美萍,冒建军,焦继伟,陆德仁 单位：航天科技集团公司九院七七一所 出版：《微电子学与计算机》1995年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXYJ502.0060 DOC编号：DOCWXYJ502.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 用ＢＥＳＯＩ技术形成带腔结构，研制了具有高过载性能的绝压式和差压式压力传感器。用凸型梁结构使形变膜的应力放大，可提高传感器的输出灵敏度，实验得到的负压传感器的非线性度小于０．１％，５Ｖ时输出灵敏度约２．６ｍＶ／ｋＰａ。

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