作者：费龙,钟先信,温志渝,高扬 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1995年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ505.0000 DOC编号：DOCCGQJ505.0009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC1995年第01期 费龙,钟先信,温志渝,刘桂雄,高扬 《硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计》PDF+DOC2003年第01期 陈光焱,苏伟,何晓平 《高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析》PDF+DOC2002年第04期 宋萍,李科杰,石庚辰,卢四华 《一种低横向效应的压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC2018年第08期 赵思晗,石云波,赵永祺,孙亚楠,任建军,李飞 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC2000年第03期 朱目成 《微电子机械系统和片式系统》PDF+DOC1999年第03期 王祁,王劲松,迟晓珠 《双E型加速度传感器硅芯片的优化设计》PDF+DOC2003年第01期 唐世洪,张克梅,邓永和,谭子尤 《新颖型弹性膜硅加速度传感器芯片的设计》PDF+DOC2003年第08期 邓永和 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧 《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC2008年第04期 范树新,耿振亚,聂丽梅

    • 综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。

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