作者：王承钢,汪德宝,杨自本,叶孝佑,翟富华 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1994年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL402.0010 DOC编号：DOCXDJL402.0019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文所介绍的高精度测量、高分辨力的定位控制传感器是一种柔性接触定位系统，由光学、电感、和电子器件等各部分组成，集当代一些高新技术一体的高新科技器件。其定位分辨力，优于０．００５ｕｍ．可供高精度位移（或长度）测量仪器设计中选用。

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