作者：涂相征 ,李韫言 ,涂序彦 单位：电子工业出版社;美国国际数据集团 出版：《今日电子》1994年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJR1994110230 DOC编号：DOCDZJR1994110239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 多孔硅微细加工的压阻压力传感器 微型压力传感器是在60年代末出现的，微细加工技术就是从此开始发展的。上面所述的各向异性化学腐蚀、电化学腐蚀和硅片直接融结等都已用来制造微型压阻压力传感器。微型压阻压力传感器尚需解决的问题是制造工艺太复杂、生产成本太高以及不易制造高灵敏的微压传感器等。针对这种情况，本文

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