作者：鲍敏杭,沈绍群,陈宏,马青华 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》1995年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC1995050010 DOC编号：DOCHKJC1995050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 硅压力传感器具有小型和高灵敏度的优点。近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用。本文介绍了作者首先提出的适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构。用这些结构都已制成全程为1kPa的压力传感器。

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