作者:薛实福,刘永生,李庆祥,高宏,徐毓娴,于水 单位:中国电子科技集团第四十五研究所 出版:《电子工业专用设备》1995年第03期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDGZS503.0010 DOC编号:DOCDGZS503.0019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具,由悬臂梁与探针集成件(Cantileverstylus)组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件,它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。

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