《对称差动电容压力传感器》PDF+DOC

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2. 《改进型电容压力传感器的设计》PDF+DOC 电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用 ，但硅杯形状对传感器的灵敏度影响较大 ，本文提出一种新的硅杯形状 ，并通过分析计算 ，设计出了改进型的电容式集成压力传感器...
3. 《新型电容传感器结构的设计》PDF+DOC 提出了一种采用变间距差动式电容结构设计的电容压力传感器 ，并详细讨论了弹性体厚度的理论计算和版图的设计 .此种传感器是用来测量近海海水深度和浪高 ，并由此得到潮汐的变化的 .这种差动式结构是利用压力作用在可动电极上 ，在微机械加工的过程中 ，采用某种连接 ，大大提高了传感器的灵敏度和测量精度 。...
4. 《电容层析成象传感器负灵敏度区影响的研究》PDF+DOC 电介质的电极化效应导致电容层析成象传感器负灵敏度区出现。以实例说明负灵敏度区内某些部位介质出现导致电容量减小、抵消敏感区内的部分信息，降低测量分辨力，并讨论传感器阵列设计的原则。...
5. 《低成本高灵敏度集成化压力与温度传感器》PDF+DOC 低成本高灵敏度集成化压力与温度传感器Ｐ．Ｐｏｎｓ等一、简介金属电阻为进行简便、精确及低成本的用度测量创造了条件。此外，电容压力传感器据供了一个高灵敏度、低温漂的压力测量方法。将这两种类型的传感器集成干同一芯片上看来是可行的，而且符合经济上的要求，因为..。...
6. 《全电桥电容伸长仪》PDF+DOC 全电桥电容伸长仪ＲａｎｄａｌｌＤ．Ｐｅｔｅｒｓ１．前言显然，第一个全电桥电容传感器是线性旋转式差动电容（ＬＲＤＣ）传感器。该专利技术对研究大角度运动具有独特的能力，本文对无限范围的推断进行了证明。目前，该传感器已用于倒相扭矩摆中，测量剪切模量和磁弹性..。...
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8. 《硅电容压力传感器敏感器件的研究》PDF+DOC 研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术，加工精度高，易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式，并将其封装在专用基座中，适用于中、微压力的高精度测量，可用于目前通用压力传感器的升级产品。...
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