《Ta_2O_5平面波导湿度传感器的研究》PDF+DOC
作者:杜春雷,苗景歧,黎风
单位:中国光学学会
出版:《光学学报》1994年第06期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXXB406.0200
DOC编号:DOCGXXB406.0209
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本文从应用的角度介绍平面波导传感器的概念及制备方法,在实验的基础上分析和讨论了Ta_2O_5平面波导湿度传感器的原理,结构与特性测试方法,为开展集成光学平面波导传感器研究提供理论与技术依据.
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