作者：E.Obemeier,林杰 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1995年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1995010020 DOC编号：DOCYBJS1995010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文将以几个实例阐明微传感器在近年来的发展以及在工业上的典型应用，文中涉及一个3mbar的微压传感器，一个数字化可编程、有校正功能的1bar集成压力传感器，一个利用热传导原理的微机械气体传感器和一个可测至26GHz的功率传感器。最后这二例充分说明了利用再工程(re-engineening)技术从传统传感器产生的新型传感器的显而易见的优越性。

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