《新型声表面波气体传感器》PDF+DOC
作者:刘国锋,陈明
单位:中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所
出版:《计测技术》1995年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHKJC1995030010
DOC编号:DOCHKJC1995030019
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介绍了声表面波(SAW)气体传感器的工作原理及器件制作,提出了1种表面波SO2传感器,它采用三乙醇胺(TEA)覆盖薄膜,分辨率可达70×;10-9。还讨论了SAW气体传感器的稳定性、可靠性、灵敏度及选择性等问题,并给出了有关的实验结果。
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