作者：费龙,钟先信,温志渝,刘桂雄,高扬 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1995年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM501.0110 DOC编号：DOCGXJM501.0119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。

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