《可用于+300℃检测的新型硅扩展电阻温度传感器》PDF+DOC
作者:刘百勇,郑学仁,杨炳良,黄仑,李斌,陈斗南
单位:华南理工大学
出版:《华南理工大学学报(自然科学版)》1995年第12期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHNLG1995120000
DOC编号:DOCHNLG1995120009
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提出一种结构新颖的硅扩展电阻温度传感器,这种传感器与硅平面加工技术兼容,易于集成化。当传感器在2mA的正向偏置电流下,由于少数载流子的不连续性以及多数载流子的注入,传感器电阻的正温度系数(PTC)区拓宽到573K(+300℃)以上。本文探讨了传感器的图形设计理论和电阻-温度关系,与实验结果吻合。这种SRT传感器在温度和流速检测中将得到广泛应用。
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