作者：李路明,王立鼎 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1997年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM701.0110 DOC编号：DOCGXJM701.0119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 简要叙述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）研究中的多单元综合体——微型系统，包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。对其应用前景作了讨论，并提出了一些超前的设想

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