《表面粗糙度和形状测量技术的最新发展动向》PDF+DOC
作者：胡杰,孙东
单位：青岛大学
出版：《青岛大学学报(工程技术版)》1996年第04期
页数：6页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFQDDX604.0150
DOC编号：DOCQDDX604.0159
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触针式表面粗糙度测量仪自发明以来至今，虽然基本测量原理没有多大变化，但近年来在高性能、多性能化以及降低价格，从一维测量到三维测量等方面有了很大的进步。为实现高速、高精度测量，在非接触测量方面，采用了老触针以及显微技术：例如，ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）扫描遂道显微镜、ＳＥＭ（ＳｗｅｅｐＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）扫措式电子显微镜、ＳＰＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＰｒｏｂｅＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）扫描式探针显微镜等。该技术发明时间虽不长，但各国学者，在多方面进行了大量研究，已开发了适用于超精微细表面的测量技术，这是今后很有希望的方面
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