作者：孙麟治 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1997年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM702.0000 DOC编号：DOCGXJM702.0009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了近三五年内国际上微机械研究的新进展，阐述新的微加工技术，趋向于探讨高纵横比的真三维立体结构；适用于聚合物和金属材料的制造方法；报道了压电型和电磁型微小电机的研制水平以及一些初见成效的微机械作品。认为国外正在进行多途径的研究，并为努力攻克微机械固有的特殊技术难点而在不懈奋斗之中。

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