作者: 单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版:《光机电信息》1997年第09期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGJDX1997090140 DOC编号:DOCGJDX1997090149 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 日本东京大学生产技术研究所的年吉洋讲师和藤田博之教授研制成采用微机械技术的光学开关。这种光开关,借助于静电力的作用,使带有细变形条的微型镜弯曲,可以改变光的路线。通过控制施加于电极的电压,使控制4个镜的方向、将输入光平分为两束输出光的实验获得成功。镜的长边由变形条撑着。其尺寸为600μm×300μm。镜子和变形条均由多品硅制成,为提高光反射率,上面镀有一层铬和金薄膜。

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