作者：薛实福,刘永生,李庆祥,高宏,徐毓娴,于水 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》1995年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX502.0090 DOC编号：DOCZGJX502.0099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《原子力显微镜的力传感器》PDF+DOC1995年第03期 薛实福,刘永生,李庆祥,高宏,徐毓娴,于水 《原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究》PDF+DOC1997年第02期 薛实福,徐毓娴,李庆祥,王晓晔,刘永生,于水 《原子力显微镜（AFM）力传感器及其固有频率的测试》PDF+DOC1995年第02期 薛实福,刘永生,李庆祥,高宏,于水 《原子力显微镜悬臂梁力传感器的设计与优化》PDF+DOC 王晓冬 《3D打印纳米级传感器提高原子力显微镜的性能》PDF+DOC2017年第11期 《AFM力传感器微机械加工技术的研究》PDF+DOC1996年第S1期 李庆祥,徐毓娴,薛实福,刘永生 《具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究》PDF+DOC1995年第01期 张鸿海,曹伟,师汉民,陈日曜,李文菊,周学夫 《应用于精密工程的宽范围原子力显微镜研究》PDF+DOC1994年第03期 张鸿海,曹伟,江福祥,李文菊,周学夫,师汉民,陈日曜 《基于探针形式的三维硅微力传感器》PDF+DOC2009年第04期 林启敬,赵玉龙,蒋庄德,王鑫垚,王伟忠 《基于qPlus技术的扫描探针显微学研究进展》PDF+DOC2013年第24期 陈鹏程,仉君,袁秉凯,程志海,裘晓辉

    • 着重介绍原子力显微镜力传感器的要求和力传感器设计的有关问题，并提供一种用图表设计结构尺寸的方法。

    📙 相关资料

    1. 《原子力显微镜的力传感器》PDF+DOC 原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具，由悬臂梁与探针集成件（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｙｌｕｓ）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和......
    2. 《原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究》PDF+DOC 分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约５０ｎｍ。制定了适于批量生产的ＡＦＭ力传感器加工工艺。...
    3. 《原子力显微镜（AFM）力传感器及其固有频率的测试》PDF+DOC 由悬臂梁与探针集成件（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｙｌｕｓ）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（ｒｅｓｏｎａｎｔｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）是悬臂梁与探针集成件的一个重要技术指标，本文介绍了对力传感器的要求、力传感器的设计、检测力传感器的方法，着重介绍了一种采用光学象散原理组成的传感器的固有频......
    4. 《原子力显微镜悬臂梁力传感器的设计与优化》PDF+DOC 本文介绍了压阻效应以及压阻式AFM悬臂梁力传感器的工作原理，并从悬臂梁与压阻尺寸和掺杂浓度等方面提出了改善悬臂梁传感器性能的设计与优化方法。...
    5. 《3D打印纳米级传感器提高原子力显微镜的性能》PDF+DOC 大家都知道纳米很小，小到看不见，但是具体多大倒是很少有人能够知道。头发丝我们都知道，很细，1纳米相当于1根头发丝直径的6万分之一。你能想象这么小的东西也能通过3D打印而成吗?近日，瑞士洛桑理工学院(EPFL)的研究人员3D打印出了纳米级的传感器，据称这种传感器能够提高原子力显微镜的性能。...
    6. 《AFM力传感器微机械加工技术的研究》PDF+DOC 本文介绍了力传感器微机械加工工艺路线，对ＫＯＨ腐蚀硅的硅膜厚度控制进行了实验研究，以ＳＩＯ２为掩膜，ＳＦ６刻蚀硅，实现了悬臂梁探针一次成形，并用湿法腐蚀对探针进行初步锐化，针尖半径约５０ｎｍ。...
    7. 《具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究》PDF+DOC 介绍了具有宽测量范围（１４０&#215；１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。仅用了６个需加工的零件，构造出了直接对１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过更换测头，可以在扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、磁力显微镜（......
    8. 《应用于精密工程的宽范围原子力显微镜研究》PDF+DOC 本文描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜．当用管状扫描器工作时，测量范围可达２&#215；２μｍ２，能获得原子级的分辨率．当用新开发的宽范围工作台扫描时，测量范围可为１４０&#215；１４０μｍ２，分辨率可在１～１００ｎｍ之间调节．...
    9. 《基于探针形式的三维硅微力传感器》PDF+DOC 为满足三维微力测量的需求，以MEMS体硅压阻工艺技术为基础，研制了一种基于微探针形式，具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁，支撑中间的与微力学探针结合在一起的质量悬块的结构形式，在4mm&#215；4mm的硅基半导体芯......
    10. 《基于qPlus技术的扫描探针显微学研究进展》PDF+DOC 不同于扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope，STM)，原子力显微镜(atomic force microscope，AFM)主要通过探测针尖和样品间的相互作用力获得样品表面信息，不需要导电的样品，可以研究比STM更为广泛的样品体系，自发明以来迅速成为基础科学和应......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。