《氧化镓薄膜的氧敏特性研究》PDF+DOC
作者:马英仁,徐晓峰,孟娟,雷鸣亮
单位:黑龙江大学
出版:《黑龙江大学自然科学学报》1997年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHLDZ703.0130
DOC编号:DOCHLDZ703.0139
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使用射频溅射法制作了Ga2O3薄膜并对其氧敏特性和温度特性进进了测试和研究,结果表明薄膜电阻与环境气氛中的氧分压的1/4次方成比例而与温度呈指数律关系。使用单电离氧空位模型成功地解决了实验结果。
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