作者：大舟 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1997年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1997060090 DOC编号：DOCGJDX1997060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了成功地应用微型技术，不仅需要能制成微型结构，还要求能对其操纵和监控。因此微型装配成为一个重要的课题，同样，微型结构及成套微系统的质量控制也是很重要的。

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