《薄膜电阻应变传感器中的绝缘隔离》PDF+DOC
作者:黄蕙芬
单位:中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所
出版:《真空》1994年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKZK402.0010
DOC编号:DOCZKZK402.0019
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木文介绍了薄膜电阻应变传感器中作为绝缘隔离层的双层介质膜的制备方法及其绝缘特性.
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