作者：杨妹清 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1996年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1996100050 DOC编号：DOCGJDX1996100059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 几年前，将质量100kg以下的物体移动1m的距离，就可容易地以几nm的精度对目标进行定位，这样的超精密定位技术实际上已应用于制造半导体的器件和非球面透镜的超精加工工作仪器等.而且，据目前有些研究报告公布，能以0.1nm的分辨率实施定位.据测，位移传感器的精度亦将获得与之相同的定位精度.本文将概括介绍如何获得上述精度，并就今后的超精密定位技术作以展望。

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