作者：吴桔生,朱长纯 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1995年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1995030070 DOC编号：DOCCGJS1995030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍用集成电路微细加工技术研制出的一种新型超薄平面结构的电涡流传感器探头.用理论模拟对线圈半径与绕向进行设计，并配制了适宜的二次电路，制造出微位移测试仪样机.同传统结构的电涡流传感器探头相比，灵敏度提高了16%，线性度改善2%。

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