作者：温志渝,费龙,钟先信,胡松,王晓兰 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1995年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM502.0090 DOC编号：DOCGXJM502.0099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 简要地描述了以各种微结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅微悬臂梁融合式传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初步的报道。研究结果表明这是一种很有前途的技术。

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