《谐振式压力传感器的新进展》PDF+DOC
作者:白韶红
单位:陕西鼓风机(集团)有限公司
出版:《工业仪表与自动化装置》1994年第01期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGYZD401.0030
DOC编号:DOCGYZD401.0039
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《MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2010年第01期 杨川,郭灿
《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2009年第06期 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊
《关于谐振式硅微结构压力传感器的综合研究》PDF+DOC2015年第06期 肖兵兵,王奇帅,赵鹏辉,罗坤
《硅压力传感器的三维微细加工》PDF+DOC1991年第01期 孟涛
《微结构谐振传感器》PDF+DOC1992年第02期 樊尚春,刘广玉
《在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器》PDF+DOC1992年第03期 KYOICHI IKEDA,孙海涛
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《MEMS压力传感器原理及其应用》PDF+DOC2012年第S1期 曹乐,樊尚春,邢维巍
《热激励谐振型压力传感器激励电压的影响与分析》PDF+DOC2008年第06期 李晓伟,张正元
本文介绍了近几年谐振式压力传感器的新成果和发展趋势。
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