作者：茅盘松 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1996年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ606.0100 DOC编号：DOCCGQJ606.0109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 详细介绍了一种平面振动式微硅型加速度计的工作原理，并用理论力学和材料力学阐述了这种加速度计的结构设计方法。

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