《雷达距离欺骗干扰技术与SAW延迟线》PDF+DOC

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5. 《EBL制备用于气体传感器的SAW延迟线的方法》PDF+DOC 电子束光刻(EBL)具有高的分辨率，能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件。一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法：首先利用EBL在压电衬底上获得叉指换能器(IDT)的电子抗蚀剂图形；然后用剥离工艺制作出IDT电极。通过邻近效应校正和提高场拼接精度，制作的叉指......
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