《微机械加工技术──等离子体刻蚀》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《微型固态库仑滴定传感器的研制》PDF+DOC 本文介绍了一种离子敏场效应管（ＩＳＦＥＴ）与库仑滴定分析技术相结合而形成的固态库仑滴定传感器．采用ＭＯＳＩＣ工艺和硅微机械加工技术制成了尺寸为６&#215；７ｍｍ２上面含有ＩＳ－ＦＥＴ敏感元件及执行元件的工作管芯，可对有效滴定体积约为０．２μＬ的酸碱溶液在３０秒内完成库仑滴定分析，其分析结果......
2. 《HEMT压力传感器》PDF+DOC 利用Al Ga N/Ga N半导体的极化效应在异质结界面产生二维电子气(2DEG)的特性，设计了一种基于高电子迁移率场效应管(HEMT)的压强传感器；并利用标准的微电子工艺和背部深硅刻蚀技术制作了器件；对器件在不同压强下的源-漏I-V特性进行了测试和评价.结果表明本文设计制作的压强传感器的I-V特性......
3. 《高精度硅压力传感器》PDF+DOC 高精度硅压力传感器电子部东北传感技术研究所新近研制出一种高精度硅压力传感器，并已通过了专家技术鉴定。它是根据硅材料的压阻效应，采用微机械加工技术、微电子技术及微结构键合技术制成的一种压力传感组件和调理电路组件一体化的压阻式传感器。同时，在调试过程中还..。...
4. 《肝素离子敏场效应管(ISFET)传感器的研制》PDF+DOC 本文以离子敏场效应管作为传感器基体，经化学修饰后在ISFET的栅极表面结合上一种肝素的拮抗剂。通过优化实验条件，在磷酸盐缓冲液为本底的肝素溶液中对肝素浓度响应的线性范围为0.2unit/ml—8.9unit/ml，检测下限为0.1unit/ml；斜率为42mV/dec，响应时间为0.5S。实验发现本......
5. 《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC 微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿，它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展，并对今后的研究动态进行了论述...
6. 《氢离子敏场效应管酶免疫传感器的研制》PDF+DOC 介绍了以氢离子敏场效应管为基体电极，以碱性磷酸酶抗碱性磷酸酶抗体为例，在方法学上实现了电化学测量的一种酶免疫传感器．本生物传感器的响应时间达１８ｓ，标准曲线线性范围为７．８&#215；１０（－２）μｇ／ｍｌ～０．６３μｇ／ｍｌ。另外，还讨论了适宜测量条件、抗体膜的寿命、抗原抗体复合物的寿命、......
7. 《集成pH－ISFET／压力传感器的研究》PDF+DOC 基于ＳＤＢ／ＳＯＩ材料和硅微机械加工技术，提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线ＰＨ－ＩＳＦＥＴ／压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统，以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离，又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了......
8. 《将导致传感器及控制技术改观的硅材料》PDF+DOC 加州旧金山的罗杰&#183；格雷斯协会主席罗杰&#183；格雷斯说，正如硅技术曾导致采用微处理机的计算机系统发生革命性变革一样，它现在也将使传感器及控制技术发生完全改观。格雷斯向参加西部电子展览会的人们说，实际上这些开发是相互补充的，因为微处理机的最佳使用需要小型而高性能的测量装置和......
9. 《离子敏场效应管的技术进展》PDF+DOC 文中分析了离子敏感场效应晶体管在国内外的发展，在开展器件研究工作中所进行的基础理论研究、制造工艺、测试技术及应用中的新进展。对这种器件的优缺点、应用领域及潜在的需求作了分析，并讨论了今后ISFET发展过程中研究课题的主要动向。 主要内容有： (1)各种化学传感器件，其中的化学敏...
10. 《血气分析中二氧化碳分压测定方法比较》PDF+DOC 陈述了应用于临床血气分析的4种二氧化碳分压[p(CO2)]测定原理，即基于离子选择性电极(ISE)、基于离子敏场效应管(ISFET)、基于气体对光谱选择性吸收原理和基于气体通透皮肤特性的测定。最后对4种p(CO2)二氧化碳分压测定方法进行了比较分析，为临床对相应仪器的正确使用和维护提供帮助。...