作者：高晓萍 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1996年第04期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1996040070 DOC编号：DOCGJDX1996040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 德国的卡尔斯鲁厄研究中心(FK)的微小结构体研究所，积极地进行有关微系统技术的研究.因为LIGA同时利用光制造技术和金属蒸镀技术，所以可制作三维微小结构体，它是一种近于实用化的技术.FK利用这种技术制作微泵、微阀、微型透平、微型传感器以及微型流体器件之类的部件，并将这些器件组装起来制成微型流体仪器系统，该系统主要用于生物体中，也可应用于微型化学分析系统。

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