《微机电系统——二十一世纪的新兴产业》PDF+DOC

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2. 《MEMS将成为21世纪新技术增长点》PDF+DOC 微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微型化革命，以加工微米/纳米结构和系统为目的的微米/纳米技术(Micro/Nano Technology)在此背景下应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来，形成具有一定功能的微米/纳米结构；另一方面人们利用精细加工手段加工出微米/纳米级结构。......
3. 《微小型武器发展动向》PDF+DOC 微小型武器是20世纪90年代美国等先进工业国家开始发展的新概念武器，它不但在基础理论、设计、制造与计量测试技术等方面是革命性创新，而且对21世纪战争的模式将会带来变革性的影响。 基于微米、纳米、微机电系统技术发展起来的微小型武器技术的内涵是：根据微小型武器特殊功能和特性，应用微机电系统(MEMS)、......
4. 《第十届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知(第一轮)》PDF+DOC 微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域，是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术，是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展，为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台，第十届“中国微纳电子技术交流与学术研......
5. 《纳米技术的应用及发展动向》PDF+DOC 系统地对纳米技术在材料科学、微电子学、微机电系统、超微传感器、生物工程、光电领域、化工领域及生命科学中的应用作了评述 ，讨论了纳米技术对未来社会的巨大影响及其潜在的、令人鼓舞的发展前景 ，预计将对经济发展、国防力量、科学发展以至社会进步产生巨大的影响...
6. 《机械制造业的革命—─微电子机械的制造及应用》PDF+DOC 微电子机械，从广义上讲是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路，以及接口、通讯和电源等于一体的几何尺寸不超过１ｃｍ３的微型机电一体化产品。最小体积的远期攻坚目标是微米～纳米的范畴。专家们预测微电子机械技术，将在下世纪初期相继造就一..。...
7. 《机械科学的新边疆──微机电一体化技术》PDF+DOC 微机电一体化技术是介观物理、混沌物理、量子力学等科学和计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等技术互相融合的先进科技，是２１世纪科学技术发展的前沿领域，介绍微机电一体化系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。...
8. 《面向21世纪的微米、纳米科学与技术》PDF+DOC 本文介绍了微米/纳米科学与技术的含义、意义、国内外发展概况、微米/纳米机械的特征以及它的应用领域，这对开展该领域的研究具有一定的指导意义。...
9. 《基于光纤微机电系统的纳米级测量技术》PDF+DOC 纳米技术作为当前发展最迅速、涉及范围最广的科学技术之一，被誉为21世纪的科技新星，对工业技术革新、产业升级具有十分重要的意义。随着技术的飞速发展，纳米技术涉及的范围也越来越广。目前，纳米科学与技术这一学...
10. 《微米纳米科学技术发展及产业化启示》PDF+DOC 近年来，微米纳米科学技术发展迅速，在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上，结合我国具体情况，阐述了以下观点：开展创新工艺和设计方法研究，提高微机电(MEMS)应用和产业化能力；开展基础研究，提高MEMS器件和系统的水平；加强微米/纳米科学技术成果的结合.最后对今后研究工作提出了建议。...