《硅基微型系统的应用》PDF+DOC

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2. 《第2届合成孔径雷达干涉测量会议》PDF+DOC 1997年11月19日在日本筑波召开了第2届合成孔径雷达干涉测量会议。来自美国、法国、加拿大、日本、中国等国家的代表50余人出席了会议。会上共有17篇论文参加了交流。法国国家空间研究中的(CNES)的D.Massonnet博士作了“雷达干涉测量的未来：新用户、新计划、全球定位系统融合”的报告，对干涉......
3. 《新型微流通池pH-ISFET集成传感器的研制》PDF+DOC 报道了一种新型微流通池ｐＥ－ＩＳＦＥＴ集成传感器，该集成传感器采用常规ＩＣ工艺、微加工技术和键合技术，实现微流通池、四对长臂式ＩＳＦＥＴ／ＲＥＦＥＴ传感器（差分测量用）和Ｔｉ／Ａｕ膜伪参考电极芯片一体化结构，芯片面积为８ｍｍｘ６ｍｍ，微流通池体积为０．７ｍｍｘ５．０ｍｍ&#215；０．３ｍｍ......
4. 《背面引线压力／氢离子敏传感器的研究》PDF+DOC 报道了一种含微参比电极的差分结构，并可与其它敏感元和信号处理电路完全隔离的背面引线氢离子敏感场效应（ｐＨ－ＩＳＦＥＴ）新结构。基于硅的固相键合技术和硅微机械加工技术以及常规Ｎ阱ＭＯＳ工艺，研制成集成压力／ｐＨ－ＩＳＦＥＴ传感器，设计制作了高稳定的可调芯片自恒温系统，经实际工艺流水制成了样管，初步的测......
5. 《机器人和医学上用的触觉传感器》PDF+DOC 人工触觉传感器能连续读出可变接触力，它可以用来代替因疾病或损伤而失去触觉的人体触觉系统，并可以大大提高在一些特殊环境中(如核反应堆、水下探测和空间研究)工作的机器人性...
6. 《生物传感器的应用》PDF+DOC 生物传感器是集生物技术和微电子技术于一体的新型探测器件。它的工作是通过生物传感器的表面与被测物质发生反应，通过特定换能设备，再借助电子电路检测出来并由仪表读出检测数据。生物传感器由固化酶、细胞、亚细胞和其他生物活性物质与适当的换能器密切结合而成。近年来，生物传感器的发展前景诱人，将成为临床诊断、化学......
7. 《体硅加工微电极传感器研究》PDF+DOC 应用新的体硅加工技术和新的电极表面修饰方法，提出了一种新型电流型微电极传感器。以与IC兼容的硅作为基底材料，利用体硅加工工艺，采用各向异性硅腐蚀及SU- 8微反应池方法制成了新型体硅加工电极。同时，铂化并聚合被首次用来作电极表面修饰。以葡萄糖检测为例，使用吡咯作为聚合材料，新传感器与传统的电流型传感......
8. 《海洋原位化学探测核心技术的研究应用》PDF+DOC 化学传感器和化学分析器是海洋原位化学探测系统中的核心技术。本文从电化学、光纤化学和湿法化学分析等三个领域介绍了国际上化学传感器和化学分析器的研究和应用现状 ，比较了部分化学传感器和化学分析器的性能指标和优缺点 ，指出了海洋原位化学探测技术的发展趋势。与国外海洋原位化学探测技术的研究相比 ，我国在这方......
9. 《用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术》PDF+DOC 对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ，整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ，以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ，强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ，具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定。...
10. 《高精密度电子分析天平原理及故障分析》PDF+DOC 简介了美国 LECO公司红外碳硫仪的高精密度电子分析天平、电感式称重传感器的工作原理和对 2台报废的高精密度电子分析天平的故障分析、修理要点。...