《微电子机械系统(MEMS)发展展望》PDF+DOC
作者:李志坚
单位:中国电子学会;中国信息产业商会
出版:《电子商务》1997年第01期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZKJ701.0000
DOC编号:DOCDZKJ701.0009
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,魏巍
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本文对MEMS技术的发展概况进行介绍,对涉及的科学技术问题进行讨论,并扼要论述其重要意义
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