《新型电子功能材料——金刚石膜及其应用》PDF+DOC

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1. 《金刚石薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC 金刚石的许多性质(例如，高硬度、高弹性模量、高屈服强度、化学惰性、低摩擦系数和高热传导)使它成为微结构器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应，这个性能打开了金刚石薄膜在压力传感器领域的应用。研究了金刚石薄膜的欧姆接触、热敏特性和压阻特性。研究表明金刚石薄膜可制成适于高温工作的传感器。...
2. 《金刚石薄膜压阻效应及相关问题的研究》PDF+DOC P型金刚石薄膜具有压阻效应，是最近五六年才发现的新现象。利用压阻效应，可望将金刚石膜制成高灵敏度的新一类压阻传感器材料和压力微传感器，从而拓宽金刚石膜在电子学领域的应用范围。 对金刚石膜的压阻因子进行了测量，结果表明，P型定向生长的多晶金刚石膜室温压阻因子可达100O以上；金刚石薄膜的压阻效应比硅和......
3. 《4单晶、薄膜及其它功能材料》PDF+DOC ４单晶、薄膜及其它功能材料９４２７１敏感功能一材料的尖端技术动向──电气学会，电气学会技术报告（Ｊｐｎ），１９９３；（４６１）：７１敏感功能一材料调查委员会调查了电一磁传感器、光一射线传感器、力学传感器、化学传感器和生物传感器的材料开发状况及相关技术..。...
4. 《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度压阻型金刚石微压力传感器的原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传......
5. 《化学气相沉积金刚石膜的研究与应用进展》PDF+DOC 化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合，因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景，并曾在20世纪80年代中期形成席卷全球的“金刚石热”。30余年来，CVD金刚石膜研究取得了极其巨大的进展，但在产业化应用方面仍不尽人意。本文对此进行了比较......
6. 《MEMS高温压力传感器研究与进展》PDF+DOC MEMS高温压力传感器随着新型半导体材料和加工工艺的不断深入研究而迅速发展，近年来这一研究方向涌现出不少研究成果。对国内外具有主导影响的多晶硅、SOI、SOS、金刚石薄膜、SiC、电容式、声表面波、光纤式等几类耐高温压力传感器的研究进展、技术关键及应用情况等做回顾论述，并针对各自的主要优缺点进行对比......
7. 《金刚石膜压力传感器的优化设计(Ⅰ)》PDF+DOC 探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法，采用了计算机辅助设计，用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序，模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布，确定了掺硼金刚石压敏电阻条的尺寸、最佳位置和排列方式。结果证明，按该设计研制的金刚石膜压力传感器输出信号达到了较高灵敏度和较好的稳定性。...
8. 《压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试》PDF+DOC 由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性，适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层，通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条，再经金属化处理和腐蚀硅压力腔，得到了压阻式金刚石压力微传感器的原型器件。对该器件的压力输出特性测量表明，......
9. 《金刚石膜压力传感器的优化设计(Ⅱ)》PDF+DOC 金刚石膜压力传感器是在本征金刚石膜片上沉积4个掺杂金刚石膜压敏电阻，4个压敏电阻所在部位的膜厚度是压敏电阻和本征金刚石膜片厚度相加，它不同于利用扩散掺杂工艺形成的硅压力传感器，后者的4个掺杂压敏电阻和本征硅组成一个均匀的平面。我们发现，压敏电阻的形状对承载膜应力、应变分布及承压强度至关重要，提出了电......
10. 《蓝宝石光纤端面上ZnO薄膜的温变特性》PDF+DOC 为了能利用半导体材料ZnO对光谱曲线随温度变化而移动的原理设计一种光纤温度传感器，因此有必要对生长在光纤端面上的ZnO材料的温变特性的进行研究。基于ZnO材料的测温原理，利用电子束蒸发技术在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜，并设计了一种具有低插入损耗的光纤检测系统用于光学性能的分析。光谱测试结果显示，......