作者：林志信 单位：东北大学;计算软件国家工程研究中心 出版：《软件工程》1996年第02期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGC1996020100 DOC编号：DOCZGGC1996020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 继美国率先研究和开发微型电子机械之后，日本和欧洲各国相继投入巨额资金，在微型电子机械领域，与美国展开激烈竞争。微型电子机械的尺寸，有的是毫米量级，有的是微米量级，有的甚至是纳米量级。已经做出来的齿轮比头发丝还细，正在构思的机器人只有血球那么大。它是以自然界中最丰富元素之一——硅作为原材料，利用与制造半导体集成电路所用的相同技术——蚀刻技术制成。因此，它不但重量轻、

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