作者：吕苗 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》1997年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ703.0100 DOC编号：DOCBDTQ703.0109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 表面微机械加工是一种使机械部件微型化的工艺。传感器和致动器都是利用改进的集成电路制造技术来完成的。第一个表面微机械器件是谐振栅晶体管，大约在３０年以前就发表了。该晶体管的栅极采用了自由活动的金属悬梁，多晶硅表面微机械加工在十几年前就有报道，此后出现了许多传感器件的原型，并在最近制造出了第一只商品化的传感器。致动器，这种能向周围环境输出功率的表面微机械加工部件，已变得更加令人难以捉摸。在宏观事物中，一些无关紧要的现象在亚微米尺寸下变成了决定性的因素，如允许蚊子在水面上散步的表面张力，就是一个典型的例子。这些现象影响了正常的摩擦和损耗，尽管这些摩擦和损耗在宏观机械中是可以控制的，但当考虑微型机械部件时，就必须重新分析了，尽管存在这些难题，我们最终还是实现了基于表面微机械技术的微致动

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