《无掩模腐蚀工艺对硅电容力敏结构的改进》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用》PDF+DOC 提出一种新型硅无掩模腐蚀技术。利用设计一块掩模和进行一次常规有掩模腐蚀之后的无掩模腐蚀工艺，可制作多层次的硅微机械结构，结构层数原则上不受限制，各层次的位置和相应深度方便可控。基于该技术，给出了制作的几例多层力学量传感器结构结果。该技术将可望广泛应用于半导体微机械传感器和执行器中。...
2. 《“简谐运动”实验的调整和改进》PDF+DOC 简谐运动是学生在学习了直线运动、曲线运动之后接触到的一个较为复杂的运动，学生在学习中对简谐运动的过程和规律往往较难理解和掌握.教师在教学中会通过实验操作结合理论分析教会学生分析加速度、速度、位移、合外力等物理量的方法，学生在学习中更多的是记住分析方法而并不能从根本...
3. 《多孔硅微机械加工温敏传感器的研究》PDF+DOC 本文在对阳极氧化反应形成多孔硅及对多孔硅选择性生长机理、刻蚀研究的基础上，在硅片上做出到衬底距离大于５０μｍ的微桥结构。然后在微桥上溅射镍—铬电阻薄膜，形成温敏传感器微结构，并对其温度电阻特性，热响应时间进行了测量。利用该结构本文还设计出一种新型的温敏、气敏多功能传感结构。...
4. 《抵肩力测量及其统计分析》PDF+DOC 该文介绍了一种双剪切梁式应变测力传感器测量抵肩力的系统组成，在对测得的原始抵肩力信号分析的基础上，建立了加速度修正模型，并给出了加速度修正方法，根据理论分析确定了抵肩力信号的滤波截止频率。文中定性地解释了经处理后的抵肩力信号的变化规律。在能代表正常范围内中国射手的典型体格的大样本统计实验的基础上，给......
5. 《加工对称梁岛结构的微机械加工新技术》PDF+DOC 本文报道了一种用无掩模腐蚀技术加工对称梁岛结构的微机械加工技术。根据硅台阶在ＫＯＨ无掩模腐蚀下形状和尺寸的变化规律，可以设计制造出一般掩模腐蚀难以形成的微机械对称梁岛结构。由于该技术工艺简单，易于控制，为制作对称梁岛结构的硅电容加速度传感器提供了新的加工手段。...
6. 《国外传感技术研究现状》PDF+DOC 本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状，指出传感技术的研究已开始深入，基础研究得到加强，集成化系统化方面的研究取得明显成果，并出现了两个跨学科的前沿方向——硅微机械加工和真空微电子学。...
7. 《多功能集成传感器中多晶硅桥的研究》PDF+DOC 本研究将多晶硅桥结构作为多功能集成传感器的敏感元件，可用于测量流速、流向、温度，光学量等等，其工艺简单，性能优良，兼容性强，设计灵活，为解决传感器的集成化、多功能化，实现微机械加工技术提供了有效的途径。水文介绍了主要工作原理，给出了多晶硅桥制造的工艺条件，理论分析与实验结果一致。...
8. 《测试动压轴承最小油膜厚度的研究》PDF+DOC 采用两个电容位移传感器测试动压轴承动态轴心或轴承中心位置 ，解决了最小油膜厚度的测量问题 ，进行理论分析 ，并实测验证了该方法和理论的可行性。...
9. 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC 介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器 ，它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 0 gn，线性度为 10 -4 量级...
10. 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC 本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。...